จุลศักราช ๑๒๕๕) เจ้าอุปราชได้เป็นเจ้านครเชียงใหม่แทน
ลู พ.ศ. ๒๕๕๓ (ร.ศ. ๑๑๕ จุลศักราช ๑๒๖๒) รัฐบาลสยาม เริ่มจัดการปกครองมณฑลพายัพ ยกเมืองแม่ฮ่องสอน ขุนยวม เมืองยวม เมืองปาย ขึ้นเป็น 4 อำเภอ และรวมทั้งขึ้นเป็นบริเวณ เรียกว่าบริเวณ เชียงใหม่ตะวันตก ทั้งที่ว่าการบริเวณที่เมืองขุนยวม ขึ้นตรงต่อเก้า - สนามหลวงนครเชียงใหม่.
ลู พ.ศ. ๒๕๕๕ (ร.ศ. ๑๒) จุลศักราช ๑๒๖๓) ทรงพระกรุณา โปรดเกล้า ฯ ให้เจ้าอุปราชเป็นเจ้าอินทวโรรสสุริยวงศ์ เจ้านครเชียง ใหม่ เจ้าอินทวโรรสสุริยวงศ์ ได้ตั้งให้ขุนหลบุตรพญาพิทักษ์สยามเขตต์ เป็นพญาพิศาลของสอบกิจ ขุนส่างเมือง (บุตรหลวงธุรกิจไชยชาญ) เป็น ท้าวสนิทฮ่องสอนรักษ์ ผู้ช่วยราชการเมืองแม่ฮ่องสอน แต่วันที่ ๒๕ ธันวา คม พ.ศ. ๒๕๕๕ (ร.ศ. ๑๒๑ จุลศักราช ๑๒๖๔)
ลู พ.ศ. ๒๕๕๖ (ร.ศ. ๑๒๒ จุลศักราช ๑๒๖๕) ยายบริเ เชียงใหม่ตะวันตกจากเมืองขุนยวมไปถึงที่เมืองยวม (แม่สะเรียง ต่อมา เปลี่ยนนามว่าบริเวณพายัพเหนือขึ้นตรงต่อข้าหลวงใหญ่มณฑลพายัพ)
ลู พ.ศ. ๒๕๕๐ (ร.ศ. ๑๒๖ จุลศักราช ๑๒๖๔) พญาพิทักษ์ สยามเขต พ่อเมืองแม่ฮ่องสอนถึงแก่กรรม เจ้าอินทวโรรสสุริยวงศ์ เจ้า ผู้ครองนครเชียงใหม่ ตั้งให้พญาพิศาลต้องสอนกิจ เป็นพ่อเมืองแม่ฮ่องสอน เมื่อวันที่ ๑๖ กันยายน พ.ศ. เดียวกัน
ลุ พ.ศ. ๒๕๕๓ (ร.ศ. ๑๒๕ จุลศักราช ๑๒๒) ย้ายที่ว่าการ บริเวณพายัพเหนือมาตั้งที่เมืองแม่ฮ่องสอน ต่อมาเปลี่ยนนามว่าเมืองแม่ ฮองสอน และเปลี่ยนเรียกเมืองแบบยังสอนว่าจังหวัดแม่ฮ่องสอนดังนี้